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BOE:不只是缩写,更是化学界的“神秘力量”

  • 编辑:倪厚国
  • 2025-02-27 16:18:54
  • 来源:网易

BOE,全称为 Buffered Oxide Etchant,中文译为缓冲氧化物刻蚀液,在化学领域尤其是半导体制造中扮演着重要角色。它是一种用于半导体晶圆加工的溶液,主要用于去除晶圆表面的氧化层,同时在刻蚀过程中保持均匀的速度和选择性,确保晶圆表面的平整度与质量。

BOE通常由氢氟酸(HF)和乙酸(CH3COOH)按一定比例混合而成,有时也会添加水或其它缓冲剂来调节其pH值,以提高稳定性并减少对设备的腐蚀。BOE的使用不仅限于半导体行业,也广泛应用于平板显示、太阳能电池板等领域,成为现代电子技术发展不可或缺的一部分。

由于其在微电子制造中的关键作用,BOE常被视为化学界的一种“神秘力量”。然而,值得注意的是,BOE具有一定的危险性,操作时需要严格遵守安全规范,做好个人防护措施。

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